项目名称：上海市计量测试技术研究化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪
招标项目编号：2523-224GXGJ*****
招标范围：化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪 1台1、自动晶圆表面处理器。自动晶圆表面处理器主要是由PAD雾化器、PAD扫描装置、开放式晶圆匣座、机械手臂系统、晶圆装载机及其他相关配件所构成。2、电感耦合等离子体质谱仪。电感耦合等离子体质谱仪由半导体制冷雾化器、三重四级杆、电子透镜、检测系统和数据处理系统组成。★3、12寸衬底材料：钾、钠、钙、镁、铝、铜、硼、磷、砷的检出限达到10E7atoms/cm2，其余元素做到10E6atoms/cm2，6寸-8寸材料：检出限为(10E7-10E8)atoms/cm2
招标机构：上海公欣招标代理有限公司
招标人：上海市计量测试技术研究院
开标时间：2023-01-05 09:30
公示开始时间：2023-01-05 16:31
评标公示截止时间：2023-01-10 23:59
中标候选人名单：