[B2023010301]大面积蒸发镀膜系统网上成交公告
[B2023010301]大面积蒸发镀膜系统网上成交公告
成交信息
| 成交供应商 | 武汉欣泽瑞科技有限公司 | 成交金额 | ****** |
| 成交理由 | 符合需求，价格最低 | ||
采购项目信息
| 项目名称 | 大面积蒸发镀膜系统 | 项目编号 | B********** |
| 开始时间 | 2023-01-03 16:53:22 | 截止时间 | 2023-01-08 16:53:22 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额(元) | ******.0 |
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 大面积蒸发镀膜系统 | 1 | 套 | ******.00 | |||
| 技术参数 | 主要技术参数： 1.镀膜速率：0.1-10A/s蒸发速率。 2.镀膜厚度均匀性：210*210mm工件台，保证片内均匀性优于+/-5%，基板温度≤80℃(100nmCu 为例,蒸镀速率≥1 埃/秒情况下)；3.3组蒸发电极，兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝，带有自动档板。 4.两台进口蒸发电源可在分别在3组蒸发电极之间切换蒸发。 5.配备3组有机蒸发源，3个束源式有机蒸发源，束源炉角度可微调以保证良好的沉积均匀性；配备20-10束源式有机蒸发电源3套，带进口导电温控仪精确控温,精确控制输出。 6.设备配有特殊设计公自转工件盘，工件盘尺寸定制，一次性放置最大210*210mm方形样品一片。高扭矩公自转电机和控制器，转速0~30RPM可调。适合大面积蒸发镀膜工艺。 7.样品台可加热温度为室温-300℃，配带高精度导电温控仪精确控温。 8.源基距手动可调节，可调范围≥±50mm，调节精度 1mm； 9.主控系统控制开关，转速。转速检测并显示。 10.采用 PLC+工控机+显示屏控制设备运行，并且可以实现手动和自动切换；11.腔体内无基材时可以用软件自动完成腔室保压测试，且漏率可在显示屏上自动显示；12.完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下，设备处于完整互锁保下，保障人员和设备安全。 | ||||||
| 相关材料 | |||||||
武汉大学采购与招投标管理中心
2023-01-09 09:03:26
标签: 蒸发镀膜
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