厦门理工学院半导体薄膜沉积设备政府采购合同公告
厦门理工学院半导体薄膜沉积设备政府采购合同公告
采购人(甲方)：厦门理工学院
地址：厦门市集美区理工路600号
联系方式：0592-*******
供应商(乙方)：厦门毅睿科技有限公司
地址：厦门市集美区杏林湾路1649号501室B区之17
联系方式：182*****933
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) | 规格型号/服务要求 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 半导体薄膜沉积设备 | 1(批) | ￥2,196,900.00 | ￥2,196,900.00 | 一、真空腔体1.制程腔体（Batch Type 前门开启方式）A.腔体表面:抛光电解处理；B.腔体材质:SUS304；C.腔体尺寸:长320-350 mm、宽320-350 mm、高320-350 mm；D.腔体粉体烤漆支架,尺寸50mm×50mm以上,以足够支撑腔体重量,不致变形；E.高密度等离子体石英开口:10吋；F.高真空抽气法兰口:6 吋ISO160；G.腔体粗抽气法兰孔:KF40；H.真空压力感测法兰孔:KF25；I.制程压力感测法兰孔:KF25。2. 芯片传输腔体（Batch Type 上门开启方式）A.腔体表面:抛光电解处理；B.腔体材质:SUS304；C.腔体尺寸:长220-250mm、宽220-250mm、高220-250mm；D.腔体粗抽气法兰孔:KF40；E.芯片传输矩型法兰开口。二、真空抽气系统1. 制程腔泵浦A.干式泵浦：抽气速率:500 L/min；B.高真空涡轮分子泵浦抽气速率:450L/Sec。2. 传输腔泵浦A.干式泵浦：抽气速率:500 L/min。三、真空阀门及管路A.6 吋高真空闸阀 For 制程腔体用:ISO160气动式×1set；B.矩型传送隔离阀For 传输腔体用×1set；C.制程腔体粗抽真空阀门:KF40气动式×1set；D.传输腔体粗抽真空阀门:KF40气动式×1set；E.高真空涡轮分子泵浦前级抽真空阀门: KF25 气动式×1set；F.制程自动压力调节阀门及控制模块×1set、0-1000 级角度, 可自动控压；G.腔体真空泄气阀:气动式×2set；H.管路自动泄气电磁阀×2set；I. 1/4 inch 气动式进气阀×2set；J.1/4 inch VCR ALD 高速型精密阀门×6sets，ALD 金属源脉冲注入时间设置范围0.1-60 sec，ALD等离子源脉冲注入时间范围1-60 sec；K.抽气管路加热保温装置: RT-150℃；L.真空腔体1大气压力感测计×2set。四、前驱物材料PrecursorA.5 组前驱物材料罐（容量100 c.c）；B.1 组 for H2O/3组材料罐（可升温：RT-100℃）/1组低温材料，SUS316 材质（含耐高温手动阀）；C.前驱物材料罐加热套（可加热至150℃）； |
合同金额：2,196,900.00元，大写(人民币)：贰佰壹拾玖万陆仟玖佰元整
履约期限：2022年12月29日至2023年06月29日
履约地点：厦门
采购方式：公开招标
2022年12月29日
2023年01月12日
验收应按照招标文件、乙方投标文件的规定或约定进行
合同附件：
（法务预审后修订版）半导体薄膜沉积设备合同-12.29.docx
厦门理工学院
2023年01月12日
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