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上海市计量测试技术研究化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪 - 中标结果公告

项目名称：上海市计量测试技术研究化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪
项目编号：2523-224GXGJ12013
招标范围：化学气相分解电感耦合等离子体质谱仪 1台 1自动晶圆表面处理器。 自动晶圆表面处
理器主要是由PAD雾化器PAD扫描装置开放式晶圆匣座机械手臂系统晶圆装载机及其他相关
配件所构成。 2电感耦合等离子体质谱仪。 电感耦合等离子体质谱仪由半导体制冷雾化器三重
四级杆电子透镜检测系统和数据处理系统组成。 312寸衬底材料：钾钠钙镁铝
铜硼磷砷的检出限达到10E7atoms/cm2，其余元素做到10E6atoms/cm2，6寸-8寸材料：检出限
为(10E7-10E8)atoms/cm2
招标机构：上海公欣招标代理有限公司
招标人：上海市计量测试技术研究院
开标时间：2023-01-05 09:30
公示时间：2023-01-05 16:31 - 2023-01-10 23:59
中标结果公告时间：2023-01-11 16:12
中标人：香港电子器材有限公司
制造商：PVA赛默飞
制造商国家或地区：德国


招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人：签名


招标人或其招标代理机构：盖章

联系人：郝工
电话：010-68960698
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