高温化学气相沉积系统
高温化学气相沉积系统
采购单位:华南师范大学 | 联系人:采购用户 |
E-mail:*********@qq.com | 联系电话:138*****759 |
传真:无 | 联系手机:无 |
邮编:无 | 平台联系电话(异议):020-********;jycg001@qq.com |
项目名称: 高温化学气相沉积系统 | 竞价编号:JJ230*****050570 |
采购类型:货物类 | 开始时间:2023-02-16 16:05:00 |
项目预算(元):55,000.00 | 结束时间:2023-02-19 16:05:00 |
质保期及售后要求:质保期:所有货物提供至少 壹 年免费质保,质保期内提供免费上门服务(含部件、人力、上门等),质保期自货物验收之日起计算,保修费用计入投标报价。并承诺质保期满后供应商继续提供维修服务,并优惠收费。 | |
其他要求:无 |
资格及商务响应情况 | |||||||
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项目 | 竞价要求 | 响应情况 | |||||
资格条件 | 无 | 无 | |||||
付款方式 | 对公转账,按下列程序在 30 天 内付款: 设备安装调试结束并验收合格后,提交全部报告材料和发票,支付至合同金额的 100 %。 | 对公转账,按下列程序在 30 天 内付款: 设备安装调试结束并验收合格后,提交全部报告材料和发票,支付至合同金额的 100 %。 | |||||
交付时间 | 签订合同后5天送货 | 签订合同后5天送货。 | |||||
交付地址 | 广州市番禺区广州大学城华南师范大学理2栋 | ||||||
质保期及售后要求 | 质保期:所有货物提供至少 壹 年免费质保,质保期内提供免费上门服务(含部件、人力、上门等),质保期自货物验收之日起计算,保修费用计入投标报价。并承诺质保期满后供应商继续提供维修服务,并优惠收费。 | 质保期:所有货物提供至少 壹 年免费质保,质保期内提供免费上门服务(含部件、人力、上门等),质保期自货物验收之日起计算,保修费用计入投标报价。并承诺质保期满后供应商继续提供维修服务,并优惠收费。 | |||||
其他要求: | 无 | 无 | |||||
报价情况 | |||||||
标的名称 | 品牌/型号 | 数量 | 响应情况 | 单价(元/%) | |||
高温化学气相沉积系统 | 合肥科晶/CVD-GZKX-17SL | 1.00 | 合肥科晶/CVD-GZKX-17SL | *****.000元 | |||
总报价 | *****.00元 | ||||||
技术响应 | |||||||
标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | |||||
高温化学气相沉积系统 | 包括炉体、气路通道和真空系统;炉体结构:采用双层壳体结构,并带有风冷系统,炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维,最大程度的减少能量损失。炉膛尺寸:290mm*220mm*160mm。最高温度可达1700度(≤30min)。可实现多段温控程序精准控温。额定功率:5.5KW;额定电压:AC220V;使用温度:1650°。建议升温速率:1400℃以下:≤10℃/min ;1400℃到1600℃:≤5℃/min ;1600℃以后:≤2℃/min 。加热元件:硅钼棒。热电偶:B型。加热区长度:290mm。▲标配直径80mm一根刚玉管;标配有两个不锈钢真空法兰。进气端法兰安装有一根4空的陶瓷管,可以将进气穿过管堵,直接进入高温区。配套的两个管堵直接固定在法兰上面,方便客户每一次装取物料。在炉体上面安装有一套法兰支撑架,用于客户每次拆装法兰之后,放置法兰用。尾气处理:法兰出气端安装气体收集和燃烧装置,以便可收集或处理特殊气体。温控系统:包含一款YD518P型温度控制器 ,PID自动控温系统,智能化30段可编程控制,控温精度:±1℃,默认DB9 PC通信连接端口 ,通过MET认证。 通过安装软件实现控制升温曲线和导出数据。气路通道3通道,气路流量控制器:采用浮子流量计控制 标准量程10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 接口Φ6.35,1/4"" 工作环境温度5~45高纯气体 不锈钢管Φ6(外)X Φ4(内) 压力真空表-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀Φ6.35 混气罐Φ80×140mm真空系统:600*600mm的承重台面,可配合管式炉使用,移动架带有四个滚轮;真空泵抽气速率:3L/S,极限真空10-1Pa,双层立式油雾过滤器(PE材质)与真空泵连接,含有电阻硅真空计,可精准的测量真空度;法兰材质采用316不锈钢,出气口接头为1/8"宝塔气嘴接头,抽气接口为KF25接口,通过远程控制达到人机分离控制。设备外形:1410mmL*510mmW*780mmH。▲配置:真空泵1台、气路系统1台,真空系统1套、测温系统1套、尾气处理装置1套、高温手套1副、刚玉管1支、氧化铝炉塞2对、高温密封圈8个、炉勾1把,进气管1/4英寸1套; | 包括炉体、气路通道和真空系统; 炉体结构:采用双层壳体结构,并带有风冷系统,炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维,最大程度的减少能量损失。 炉膛尺寸:290mm*220mm*160mm。 最高温度可达1700度(≤30min)。 可实现多段温控程序精准控温。 额定功率:5.5KW;额定电压:AC220V;使用温度:1650°。 建议升温速率:1400℃以下:≤10℃/min ;1400℃到1600℃:≤5℃/min ;1600℃以后:≤2℃/min 。 加热元件:硅钼棒。 热电偶:B型。 加热区长度:290mm。 ▲标配直径80mm一根刚玉管;标配有两个不锈钢真空法兰。进气端法兰安装有一根4空的陶瓷管,可以将进气穿过管堵,直接进入高温区。配套的两个管堵直接固定在法兰上面,方便客户每一次装取物料。在炉体上面安装有一套法兰支撑架,用于客户每次拆装法兰之后,放置法兰用。 尾气处理:法兰出气端安装气体收集和燃烧装置,以便可收集或处理特殊气体。 温控系统:包含一款YD518P型温度控制器 ,PID自动控温系统,智能化30段可编程控制,控温精度:±1℃,默认DB9 PC通信连接端口 ,通过MET认证。 通过安装软件实现控制升温曲线和导出数据。 气路通道 3通道,气路流量控制器: 采用浮子流量计控制 标准量程 10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 接口 Φ6.35,1/4"" 工作环境温度 5~45高纯气体 不锈钢管 Φ6(外)X Φ4(内) 压力真空表 -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀 Φ6.35 混气罐 Φ80×140mm 真空系统:600*600mm的承重台面,可配合管式炉使用,移动架带有四个滚轮;真空泵抽气速率:3L/S,极限真空10-1Pa,双层立式油雾过滤器(PE材质)与真空泵连接,含有电阻硅真空计,可精准的测量真空度;法兰材质采用316不锈钢,出气口接头为1/8"宝塔气嘴接头,抽气接口为KF25接口,通过远程控制达到人机分离控制。 设备外形:1410mmL*510mmW*780mmH。 ▲配置:真空泵1台、气路系统1台,真空系统1套、测温系统1套、尾气处理装置1套、高温手套1副、刚玉管1支、氧化铝炉塞2对、高温密封圈8个、炉勾1把,进气管1/4英寸1套; | |||||
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