高真空镀膜仪(JJ2023000009)成交结果公告

高真空镀膜仪(JJ2023000009)成交结果公告

项目名称高真空镀膜仪项目编号JJ**********
公告开始日期167*****57000公告截止日期167*****00000
采购单位福州大学付款方式外贸:合同签订后乙方支付合同款的5%给甲方作为履约保证金,履约保证金待货物验收合格之日起计正常运行一年后无息退还。合同签订后开100%LC信用证,凭到岸运保凭证付90%的合同款,余款10%待货物验收合格后付清。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求外贸:办理免税后90个工作日内
预 算******.0
收货地址福州大学科技园阳光科技大厦南111
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
高真空镀膜仪1非通用设备
品牌德国徕卡
型号Leica EM ACE600
品牌2
型号
品牌3
型号
预算******.0
技术参数及配置要求1、设备功能:可实现金属溅射镀膜、碳丝蒸发镀膜、辉光放电等功能。2、设备性能指标2.1、真空系统▲2.1.1 真空泵:隔膜泵+涡轮分子泵(67 l/s),无油真空系统。▲2.1.2 极限真空度:2×10-6mbar(连续抽真空24h)。▲2.1.3 真空计:Pirani真空计+冷阴极真空计。2.1.4 抽真空时间:分子泵全速,约需15分钟抽至5×10-5mbar,约8分钟抽至10-4mbar(可以镀膜)。▲2.1.5 离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FESEM)需求。碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜。★2.2、镀膜方式离子溅射法;脉冲式碳丝蒸发镀膜法;离子溅射+脉冲式碳丝蒸发镀膜法;辉光放电;可以连接真空交换仓,与电镜配套实现冷冻镀膜,冷冻断裂,双复型,冷冻干燥和真空冷冻传输。2.3、离子溅射法2.3.1 离子溅射电流:15-150mA,连续可调。2.3.2 溅射时间:1-1800s 可调。2.3.3 镀膜厚度:1-1000nm可调,自动终止,检测精度0.1nm。2.3.4 靶材直径:54mm,厚度最大1mm。2.3.5 靶材相对样品台角度:25° 。2.3.6 溅射用工作气体:氩气,纯度99.99%,减压阀输入压力:0.5 bar。2.3.7 氩气接口:6mm(G1/8")快插接口,使用聚酰胺软管连接。2.3.8 氩气消耗:约18 sccm 。2.3.9 破真空气体:氮气,纯度99.99%,减压阀输入压力:0.2-0.5bar。2.3.10氮气接口:6mm(G1/8")快插接口,使用聚酰胺软管连接。2.3.11内置挡板,自动开启与关闭,用于预溅射时防止污染。2.4、碳丝蒸发法2.4.1 蒸发模式:脉冲式碳丝蒸发。2.4.2 一次可安装4组碳丝,单根或双根,自动检测和切换碳丝。2.4.3 镀膜厚度:1-100nm可调,自动终止,检测精度0.1nm 。2.4.4 靶材相对样品台角度:25°。2.4.5 碳丝蒸发功率:最大780W。2.4.6 内置挡板,自动开启与关闭,用于除气时(degas)防止污染。2.5、样品仓2.5.1 方形金属样品仓。2.5.2 玻璃单仓门,大面积观察窗。2.5.3 样品仓内壁可拆卸。2.5.4 样品仓尺寸:宽:200mm,深:150mm,高:195mm。2.5.5 LED样品仓内部照明。2.6、样品台2.6.1 电动三向可调样品台:可旋转,可倾斜,可调节工作距离。2.6.2 旋转速度:5档可调,触屏控制,马达自动调节。2.6.3 样品台角度:+/-60°可调,电动调节。2.6.4 工作距离调节范围:30-100mm,电动调节。2.6.5 样品台直径:104mm,带24孔,可插入24个SEM标准样品台(12.7mm)。2.7、QSG石英膜厚检测器▲2.7.1 标配内置QSG石英膜厚检测器。2.7.2 检测精度:0.1nm。2.7.3 可设置镀膜厚度范围:离子溅射:1-1000nm,碳丝蒸发:1-100nm。2.8、操作控制2.8.1内置式彩色触摸屏控制。2.8.2全自动,设定参数后,仪器自动抽真空,切换挡板,样品台旋转至指定速度,倾斜至指定角度,工作距离调节至指定高度,镀膜至指定厚度,放气。2.9、辉光放电系统▲2.9.1辉光放电电流设定范围8mA至12mA,连续可调。2.9.2辉光放电时样品仓真空度设定范围1E-1mbr至5E-1mbr。2.9.3辉光放电时时间设定范围5s至60s。2.9.4辉光放电时样品工作距离设定范围40mm至75mm。2.10、电气参数及环境要求2.10.1 电压:100/115/230V(-10%/+15%),50/60Hz。2.10.2功率:1000W以内。2.10.3保险丝:230V,1A,115V,2A。2.10.4 USB接口:U盘容量32GB以内。2.10.5工作温度:15-30°C 。2.10.6存储温度:5-40°C 。2.10.7环境湿度:80%以内。2.11、尺寸与重量2.11.1主机:宽:~300mm,深:~540mm,高:~640mm。2.11.2主机净重:~65kg。2.11.3真空样品仓:宽:200mm,深:150mm,高:195mm。3配置情况镀膜仪主机,一套;隔膜泵+涡轮分子泵(真空系统),一套;油雾过滤器,一套;真空连接管,一套;用于溅射Pt靶材,DN 54x0.17mm以上,99.99%, 21.45 g/cm3,15套(国内采购);金钯,8020,16.7克立方厘米,0.17毫米,99.99%,7套(国内采购);QSG石英膜厚检测器,一套;Pirani真空计,一套;冷阴极真空计,一套;离子溅射系统,一套;脉冲式碳丝蒸发系统,一套;碳丝25m,4套;扫描电样品托24孔样品台,两个;辉光放电系统,一套;方形金属样品仓,一个;三向可调样品台:可旋转可倾斜,可调节工作距离样品台,一个;隔膜泵垫片、视窗玻璃、快门各备一套;陶瓷板备用一个;LED防护玻璃 两套(含主机中一套);石英片两包(含主机中一套);防尘罩一个;抛光液一份。
售后服务质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:省内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:72小时内无法排除故障,免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务,维修过程只收取配件费,且以最优惠价格提供;

信息来源:https://www.yuncaitong.cn/publish/2023/03/07/20LEXNNGH0TMU6QS.shtml


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 真空镀膜

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