0642-154015060055应用于20纳米及以下的先进浸没式光刻机用涂布显影机中标结果公告(1
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项目名称：应用于20纳米及以下的先进浸没式光刻机用涂布显影机
项目编号：****-********0055
招标范围：应用于20纳米及以下的先进浸没式光刻机用涂布显影机一套
招标机构：上海圣博华康投资管理有限公司
招标人：上海华力微电子有限公司
开标时间：2015-07-16 10:30
公示时间：2015-07-17 21:32 - 2015-07-22 23:59
中标结果公告时间：2015-07-23 13:23
中标人：Tokyo?Electron?Limited
制造商：Tokyo Electron Limited
制造商国家或地区：日本
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