厦门理工学院超高低温探针测试平台等设备项目政府采购合同公告
厦门理工学院超高低温探针测试平台等设备项目政府采购合同公告
采购人(甲方)：厦门理工学院
地址：厦门市集美区理工路600号
联系方式：0592-*******
供应商(乙方)：杭州大华仪器制造有限公司
地址：杭州市富阳区东洲工业园十一号路3号
联系方式：0571-********
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) | 规格型号/服务要求 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高真空磁控溅射薄膜沉积系统 | 1(台) | ￥858,000.00 | ￥858,000.00 | 1.系统可用于制备Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta等金属薄膜，也可以用于制备氧化铝、氧化钛、氧化锆、ITO、等非金属薄膜。▲2.设备的极限真空度：≤6.6x10-6Pa(经烘烤除气后)。3.设备的抽速：从大气开始抽气：25分钟（含）以内可达到6.6x10-4 Pa。4.设备真空室结构：优质304不锈钢材质，具备内烘烤除气功能，手动前开门单室结构。5.磁控溅射靶：3套；2寸大小，其中一套可以实现铁磁性材料溅射，靶基距可调。6.靶材工位原位自清洁功能。7.电源选择：2套直流电源：①输出功率范围：0-500W；②输出电流范围：0-1A；▲③支持的调节方式：功率、电压、电流；④功率稳 定性：设定值的1%或额定功率的0.2%（两者取较大值）；⑤电源效率：最大功率的93%。8. 1套射频电源，带自动匹配器，输出功率区间0~600W，13.56MHZ：①输入频率50~60Hz；▲②最大输出功率600W；▲③最小输出功率10W；④输出频率13.56MHz±0.005%；⑤谐波-50dBc；▲⑥功率稳 定性：设定值的1%或额定功率的0.2%（两者取较大值）；⑦匹配器最大支持功率：1500W；⑧匹配精度：最大功率值1%；⑨匹配时间：＜2sec（预设时）。9.基片台：4寸样品，可加热500℃，且可自转，带辅助沉积功能。10.配工艺薄膜规，实现进气抽气自动化化工艺。11.工艺气路系统：配有气体搅拌装置，在搅拌后均匀进气，三路质量流量控制器控制。12.采用机械泵+分子泵形式抽气，机械泵可多拓展使用。▲13.制备超晶格结构氮化镓，厚度5μ，Φ25mm均匀性±2%。▲14.制备氮化铝，厚度2纳米，Φ25mm均匀性±2%。▲15.设备可制备楔形膜。▲16.以Ti或Cu任选一种靶材做工艺测试，样品直径为4英寸，镀膜厚度300nm左右进行标定，膜厚均匀性优于±5%。▲17.系统采用自动控制模式，软件拥有著作权证书，采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行，可实现真空获得、控制温度、镀膜工艺、真空释放等工艺的自由组合，并一键式全自动运行。18.配进样室系统，极限真空度≤6.67x10-4Pa。19.可实现多基片存放系统及手动运输系统，减少实验所需等待时间。20.多基片系统实时状态观察系统。 |
合同金额：858,000.00元，大写(人民币)：捌拾伍万捌仟元整
履约期限：2023年02月27日至2023年07月31日
履约地点：厦门市集美区理工路600号
采购方式：公开招标
2023年01月03日
2023年03月10日
合同附件：
厦门理工学院
2023年03月10日
标签: 超高低温探针
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