磁控溅射系统(GY202300883)自购结果公示
磁控溅射系统(GY202300883)自购结果公示
| 供应商： | 沈阳科友真空技术有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ****** |
| 公示开始日期 | 2023-03-13 | 公示截止日期 | 2023-03-14 11:32:56 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 材料科学与工程学院 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 磁控溅射系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | 科友 | 规格型号 | MS650C型 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1.本设备的实验目的为用于制备纳米和微米结构的薄膜，可以制备金属、半导体薄膜、介质薄膜等纳米膜，可以制备氧化物和氮化物薄膜。本设备工作方式为单靶独立工作、轮流工作、双靶、三靶共溅。2.设备的组成：由镀膜室、磁控靶、样品架、工作气路、电源及控制系统和真空系统组成。3.主要指标：（1）梨型溅射镀膜室1个，尺寸为Φ650㎜×460㎜；（2）溅射镀膜室采用涡轮分子泵和机械泵；（3）极限真空优于2×10-5Pa；（4）系统检漏率：≤10-8Pa·L/S；（5）测量采用国产数显复合真空计；（6）每次可安装5块基片（7）基片台最高加热温度：≥800℃（8）磁控靶3个（9）配置国际标准电源柜，匹配电源 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-03-13
标签: 磁控溅射
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