品牌

RDY

型号

RDY-NanoX200

生产厂商

小龙仪器科技（深圳）有限公司

产地信息

中国

技术规格及参数

1.闭环原子力微区测试测试系统
1.1包括150mm全自动样品台，15mm的样品高度
1.2样品台重复性（XY轴）：8 um
1.3样品台可编程，实现多点扫描。光学视频可从180um到1465um。
1.4几乎可以实现所有的AFM的功能
2.控制器
2.1设置内置通道接口，可控制扫描探针显微镜，光学系统及自动样品台，包括PC部分及V8的软件系统，提供直接的模式切换。
3.XYZ闭环扫描头
3.1XY方向扫描范围90um x 90um，垂直方向扫描范围10um。
3.2带有温度补偿传感器的闭环操作可用于精密成像，定位，缩放和纳米刻蚀
4..样品尺寸可达直径150mm，厚度15mm。
数字马达控制，真空吸附。
5.光学辅助观察系统 5百万像素数字摄像头,观察范围：180μm ~1465μm,自动缩放及聚焦
6.峰值力模式 最新的原子力显微镜技术，可有效的控制探针和样品之间的相互作用力，以小至20pN的力成像，在获得高分辨率数据的同时可以有效的保护探针和样品。
特别适合测试凝胶、细胞、聚合物等软\粘的样品。
7.智能扫描功能 用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值
8.真空吸附模块 原子力显微镜系统的马达和真空吸附功能。
9.表面电场显微镜 表面电场显微镜
10.磁力显微镜 磁力显微镜
11.多点自动测试功能 高性能控制器配合全自动样品台，可自定义编程实现多测试位点的自动测试，实现自动移动样品、自动下针、自动测试、自动保存结果、自动抬针并移动到下一位点，直至测试结束。可大大提高设备的测试效率。 1 台
12 粘附力测试 在测试形貌的同时，进行样品表面各处粘附力差异的测试，间接的区分不同材质，比如晶圆上的污染物颗粒。
13.防震台.专用防震台
14.附件 包括两个探针支架（Model :DAFMCH)，20根锐化的探针（Model:SNL-10）,30根Tapping 探针（Model: RTESP-300, RFESP-75, OTESPA-R3），及一套标准工具备件 1 /

质保期

无

售后要求

在质保期内设备出现故障供方免费进行更换零部件及维修服务，并应及时有效，接到故障信息后应在4小时内予以响应，维修人员应在48小时内到达需方现场进行维修服务，并在3个工作日内排除故障并交付使用。