1. 设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明。2. 电气控制有安全防护,防止误操作对人员和设备造成损伤。3. 采用不锈钢管路,阀门为气动双向截止阀。 4. 真空室:304不锈钢底盘和玻璃钟罩组成,尺寸:Φ230×260mm。5. 真空测量:数显复合真空计,测量范围:1×105~1×10-5Pa。6. 衬底加热温度:室温~300℃(PID控温),衬底架可旋转。7. 抽气系统:DRV-16双极旋片泵+四级玻璃扩散泵二级真空系统;采用高真空腔室焊接,清洗工艺,进口氦质谱检漏仪全程跟踪检漏,腔体漏率:小于5.0×10-10 Pa/m3/s。8. 极限真空:9.6×10-4 Pa;恢复真空:5×10-3 Pa<40分钟。9. 热阻蒸发舟及电源。蒸发源电源:1台, 最大功率:AC10V/150A;热阻蒸发舟电极:2个;金属蒸发源:配热阻蒸发舟(钨舟)。 10. 工作电源:AC220V±5%,50Hz;整机功率:约4kW。其他需求:1.厂家或厂家授权供应商供货。 2.对原有同种仪器进行维修。3.增配玻璃钟罩1个。