集束选择性原子层沉积装备加工及测试服务中标结果
集束选择性原子层沉积装备加工及测试服务中标结果
一、合同编号：**********
二、合同名称：集束选择性原子层沉积装备加工及测试服务合同
三、项目编号：HZ********
四、项目名称：集束选择性原子层沉积装备加工及测试
五、合同主体
采购人（甲方）： 华中科技大学
地址： 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
联系方式：（027）********
供应商（乙方）：华中科技大学无锡研究院
地址：无锡市惠山区堰新路329号
联系方式：152xxxx2981
六、合同主要信息
主要标的名称：集束选择性原子层沉积装备加工及测试
规格型号（或服务要求）：前处理腔室加工、ALD腔室加工、ALE腔室加工、晶圆传递装置加工、材料结构及性能表征测试等
主要标的数量：1项
主要标的单价：*******元
合同金额：185.******万元
履约期限、地点等简要信息：详见文件
采购方式：单一来源
七、合同签订日期：2023-04-26
八、合同公告日期：2023-04-27
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