热蒸发系统（GY202302124）成交结果公告

招 标 正 文
 

热蒸发系统（GY202302124）成交结果公告

项目名称 热蒸发系统 项目编号 GY*********
公告开始日期 168*****34000 公告截止日期 168*****00000
采购单位 山东大学 付款方式 货到验收合格后付款
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后15个工作日内 到货时间要求 签订合同后50天内
预 算 ******.0
收货地址 山东大学生命科学学院5楼557
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
多元蒸发镀膜设备 1 台 其他电气机械设备
品牌 沈阳奇汇
型号 QHV-R96
品牌2 无
型号 无
品牌3 无
型号 无
预算 ******.0
技术参数及配置要求 分为蒸发室，工作台两大部分。工作台内安装各种电器部件。 1.1蒸发室 1套 此蒸发设备由单真空腔体构成，腔体材质为不锈钢 SUS304，前后开门结构。真空室尺寸为420×420×550mm。前开门嵌套在手套箱内，隐藏式侧滑门结构。后开门是折页开门结构，便于设备维护。真空室底板安装金属蒸发源和有机蒸发源，侧板安装带防污分子泵抽气口，真空室顶板安装样品架和总挡板。真空室底部安装蒸发源电动挡板，侧壁上方安装膜厚探头法兰，规管法兰，备用法兰等。前开门为合金铝材料，氟胶圈密封方式。安装上下两套观察窗。分别观察样品架和蒸发台。真空室内壁及前门，安装有不锈钢屏蔽板，方便拆卸清洗。底板也安装有屏蔽板，保护信号线。 1.2蒸发屏蔽板 1套 真空室侧壁，底板，上板，可以方便拆卸，清洗。（有磁不锈钢+磁铁固定） 1.3 DN90观察窗 二套 尺寸为DN90mm。材质为石英玻璃。一套内门，一套外门。并带有手动挡板。 1.4 DN190×100观察窗 一套 尺寸为DN190×100。胶圈密封观察窗。并带有手动挡板。 1.5样品架 1套 样品架无升降。蒸发源和样品距离为300~320mm，手动升降。样品架可旋转，转速手动可调整。电动旋转0～30转/分。每次可安装 140mm？140mm样品1片。可加热，加热温度室温~400℃。双热偶贴合加热，控流量风冷方式。 1.6样品架挡板 1套 气动/磁力耦合原理。安装在真空室侧壁，在真空室外有位置限制。对开方式，挡板弹簧安装，方便拆卸。每片半圆形，减少干扰气流。 1.7金属源及挡板 6套。 金属源直接安装在真空室底板上。水冷结构，可以用舟蒸发金属类材料。两只电极间距为70mm，可以方便的使用丝或者舟形式蒸发。配有电动旋转磁力耦合挡板，安装于真空室底板。金属区域上面有独立的φ35的盖板。左右各放的两只金属源可定5°和10°。 1.8有机源及挡板 2套。 石英坩埚容量3cc ,加热丝裸露，新型仿进口结构，高口石英坩埚，降温速度快。有机源可手动变更角度。 1.9 膜厚探头 6套 国产膜厚探头。 CF35，水冷结构，用于测量蒸发速率。安装在真空室侧壁上，标配4只，用于测量膜厚和蒸发速率，测量精度0.01 ？。装有隔离罩。 1.10烘烤灯组件 1套 烘烤与照明灯分开。两只烘烤灯，一只照明灯。便于迅速除去水汽，提高真空度。 1.11手动掩膜版库 1套 模板库4片/次，样品：140×140mm,手动更换掩膜板。模板通过磁力手动拨叉进入样品架下方。可以在其他不运动的情况下自由选配模板。掩膜板库升降采用电动形式。并带有后观察窗，观察窗带有手动挡板，可以方便操作。磁力拨叉用于样品在掩膜库与样品架间的手动传递。拨叉在零位时有磁检信号采集，避免误操作。 2. 真空获得系统 1套 腔室配有独立真空抽气系统，由机械泵和涡轮分子泵组成。 配置FF200/1300分子泵1台， （北京科仪） 配置VRD-48(13.3L)机械泵1台， （浙江飞越） 配置CF200电动插板阀一套 配置CF200弯头一套， 配置CF35气动角阀1只。 配置KF40波纹管管路1.5m，3只。 配置放气阀1支，（自动补气） 配置KF40电磁压差阀1支， 配置KF40气动角阀1支， 3 电控部分 3.1工作台 1套 工作台是该设备的骨架，安装着支撑部件。方管焊成结构。台面铺有不锈钢装饰板。表面静电喷涂处理。四周有方便拆卸的围板。工作台内部安装设备真空控制单元，室烘烤照明电源,分子泵电源,有机源电源，金属蒸发电源、膜厚仪、真空计5214等。 3.2真空控制单元 1套 PLC+台湾研华工控机：机械泵运行，前级阀运行，样品架的升降，旋转。和掩膜板的升降。显示曲线：蒸发速率，电源的电流，电源的功率，显示真空度，抽气时间，在工控机上控制TDK电源的自动蒸发。 3.3室烘烤照明电源 1套 控制真空室内一只照明灯，两只烘烤灯的供电。 3.4分子泵电源 1套 控制分子泵。 3.5金属蒸发电源 3套 开关电源原理。日本TDK 总功率1.5KW。6V/200A. 一带二输出方式。 3.6有机蒸发电源 1套 国产电源可加热500度。一箱双输出方式，一带一方式。PID自动控制。（不采用切换方式。） 3.7样品加热电源 1套 控制温度室温~400℃。PID自动控制。 3.8复合真空计 1套 成都睿宝产品。一低一高。一路连接电阻规，一路连接金属电离规。复合模式，量程自动切换。5214B 3.9膜厚仪 1套 进口SQC-310C，四通道同时显示测量。用于膜厚测量，镀膜速率的反馈控制和闭环有机蒸发控制。有两路切换显示。 3.10频率计转化器 6套 6MHZ。频率转换启振稳定。通用接口。 3.11冷水机 1台 常温自带水箱冷水机，国产。
售后服务 服务网点:当地;质保期限:3年;响应期限:报修后12小时;

标签: 热蒸发

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