北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目评标结果公示公告1/05

招 标 正 文
 

北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目评标结果公示公告1/05

项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab02/05
招标范围：产品名称：ICP金属刻蚀机 数量：1台 简要技术规格：ICP金属刻蚀机，是一种半导体芯片加工设备，具体规格如下： 1）ICP金属刻蚀机1台，兼容6英寸晶圆，晶圆厚度500微米~1800微米； 2）用于铝、钛、镍、银等金属的刻蚀； 3）刻蚀厚度10微米以上，不均匀性小于等于5%。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示开始时间：2023-06-12 18:45
评标公示截止时间：2023-06-15 23:59
中标候选人名单：
候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国别及地区
1 北京北方华创微电子装备有限公司 北方华创 中国
2 北京中天博通科技有限公司 江苏鲁汶仪器股份有限公司 中国
3 Toreach？Limited SPTS 英国

,北京市

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 第二批科研设

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