北京市北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
北京市北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab02/05
招标范围：产品名称：ICP金属刻蚀机数量：1台简要技术规格：ICP金属刻蚀机，是一种半导体芯片加工设备，具体规格如下：1）ICP金属刻蚀机1台，兼容6英寸晶圆，晶圆厚度500微米~1800微米；2）用于铝、钛、镍、银等金属的刻蚀；3）刻蚀厚度10微米以上，不均匀性小于等于5%。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示时间：2023-06-12 18:45 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间：2023-06-16 11:48
中标人：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商：北方华创
制造商国家或地区：中国
标签: 第二批科研设
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