北京市北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
北京市北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
项目名称:北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
项目编号:1495-234thhrlab02/10
招标范围:产品名称:DLC钝化膜镀膜机数量:1台简要技术规格:DLC钝化镀膜机是一种半导体芯片加工设备,数量1台,具体规格如下:1)可用于在硅片表面沉积50nm~300nm厚度DLC薄膜;2)可用于在硅片表面沉积DLC薄膜,薄膜片内均匀性小于等于5%;3)可用于在硅片表面沉积DLC薄膜,薄膜击穿场强大于等于100MV/cm(@120nm)。
招标机构:天恒招标有限公司
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-06-08 09:30
公示时间:2023-06-12 19:35 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间:2023-06-16 12:00
中标人:北京中天博通科技有限公司
制造商:江苏鲁汶仪器股份有限公司
制造商国家或地区:中国
标签: 第二批科研设
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