北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
【中国国际招标网】
项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab02/09
招标范围：产品名称：单晶硅外延炉 数量：1台 简要技术规格：单晶硅外延炉是一种半导体芯片加工设备，具体规格如下： 1）单晶外延炉1台，晶圆尺寸兼容6英寸，晶圆厚度500微米~1800微米； 2）用于在硅片表面生长p型掺杂单晶硅层，厚度5~100微米； 3）外延层电阻率不均匀性小于等于3%，本征外延层电阻率大于等于800Ω·cm。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示时间：2023-06-12 19:17 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间：2023-06-16 11:50
中标人：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商：北方华创
制造商国家或地区：中国
标签: 第二批科研设
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