北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目中标结果公告1
【中国国际招标网】
项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab02/10
招标范围：产品名称：DLC钝化膜镀膜机 数量：1台 简要技术规格：DLC钝化镀膜机是一种半导体芯片加工设备，数量1台，具体规格如下： 1）可用于在硅片表面沉积50nm~300nm厚度DLC薄膜； 2）可用于在硅片表面沉积DLC薄膜，薄膜片内均匀性小于等于5%; 3）可用于在硅片表面沉积DLC薄膜，薄膜击穿场强大于等于100MV/cm(@120nm)。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示时间：2023-06-12 19:35 - 2023-06-15 23:59
中标结果公告时间：2023-06-16 11:56
中标人：北京中天博通科技有限公司
制造商：江苏鲁汶仪器股份有限公司
制造商国家或地区：中国
标签: 第二批科研设
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