品牌

沈阳科晶

型号

VTC-600-3HD

生产厂商

沈阳科晶自动化设备有限公司

产地信息

沈阳

技术规格及参数

我公司提供的产品满足此项目的技术需求，具体参数如下：
一、电源电压：220V 50Hz
总功率：＜2.5KW 腔体内径：φ300mm 极限真空度：< E-6mbar 工作温度：RT-500℃，精度±1℃ 靶枪数量：3个 靶枪冷却方式：水冷 靶材尺寸：φ2″，厚度0.1mm-5mm 直流溅射功率：500W 射频溅射功率：300W 载样台：φ140mm 载样台转速：1rpm-20rpm内可调
二、所含隔膜泵
1、抽速（m3/h）：0.5
2、极限分压强（hPa）:4.5
3、转速(r/min)：1500
4、电源功率（Kw）0.11
5、抽气口连接：G1/8
6、工作环境温度（℃）12-40
7、噪音（dB）≤52 三、所含膜厚显示仪
1、供电电源： AC220V+10%
2、输出电源： DC5V 3A
3、显示器： 12 x 2数码管+LED
4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、*****、*****可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无）
四、所含石英晶片 6MHZ
五、所含直流电源
1. 电源最大输出功率值：500 W。
2. 直流源工作电压： 0 V ～ 800 V。
3. 最大工作电流： 0.75 A。
4. 直流输出功率：0 W～500 W 连续可调。
5. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。
6. 直流电源工作压力范围：0 Pa～100 Pa。
7. 连续工作时间：24 h。
8. 数据显示方式：105 mm × 40 mm 液晶屏显示。
9. 功率设置显示：可以实现功率的预先设置，然后一键启动，启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值，实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。
10. 电源工作时间设置：本电源支持加功率时间的设置，设定时间到后，电源自动停止工作。
六、所含射频电源及匹配器
1、输出功率： 0-300W
2、功率稳定度 ：±0.5%
3、输出频率 ：13.56MHz
4、频率信号 ：标准正玄波
5、输入电压 ：AC180-250V
6、输入电流： 3A
7、输出阻抗 ：50？
8、承受驻波比： >3.0
9、冷却方式 ：风冷
10、通讯口 ：RS232 RS485
11、标准 ：Modebus
12、模拟控制接口 ：DB15
13、输出接口 ：N/UHF
14、尺寸： 444(宽)×410(深)×128(高)
15、匹配器控制 ：有
七、所含膜厚监测仪
1、供电电源： AC220V+10%
2、输出电源： DC5V 3A
3、显示器： 12 x 2数码管+LED
4、通讯端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、*****、*****可选择；数据位：8位；停止位：1位；奇偶校验：无）
八、所含冷水机
1、工作电压：AC 208V-240V 50Hz/60Hz
2、工作电流：3.5A-5.6A
3、水箱容积：6L
4、水流速率：16L/min
5、出入水口：外径10mm铜咀
6、制冷量：722Kcal/h（2866Btu/h）
九、减径直通 φ8变径到φ6与φ10变径到φ6各一个
十、不锈钢卡圈卡环 φ6不锈钢卡圈卡环一套
十一、内六角扳手 2.5 L型、3 L型、4 L型各一个
十二、螺丝刀、真空硅脂、聚酯PU管（外径6 内径4 蓝）、锁扣式夹板箱若干
十三、靶材一组：
1.Fe靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm
2.W 靶材 纯度4N 尺寸：50.2*1.5mm
3.Fe2O3靶材 纯度4N（带铜背板）尺寸：50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 纯度4N （带铜背板）尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*3mm6.FeS靶材 纯度3N以上（带铜背板 尺寸：50.2*2mm7.MgO靶材 纯度4N （带铜背板） 尺寸：50.2*2mm8.FeNi靶材 纯度3N以上 尺寸：50.2*1.5mm

质保期

我公司提供的设备质保为1年

售后要求

维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【12】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。