磁控溅射镀膜设备
磁控溅射镀膜设备
采购单位：华南师范大学 | 联系人：陆旭兵 |
E-mail：**********@scnu.edu.cn | 联系电话：130*****947 |
传真：无 | 联系手机：130*****947 |
邮编：无 | 平台联系电话（异议）：020-********；jycg001@qq.com |
| 项目名称： 磁控溅射镀膜设备 | 竞价编号：JJ230*****172792 |
采购类型：货物类 | 开始时间：2023-06-18 21:22:38 |
项目预算(元)：65,000.00 | 结束时间：2023-06-21 21:22:00 |
质保期及售后要求：无 | |
其他要求：质保期2年，在接到故障通知2小时内响应；对于设备故障，48小时内到达现场维修。 |
| 资格及商务响应情况 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 项目 | 竞价要求 | 响应情况 | |||||
| 资格条件 | 无 | 无 | |||||
| 付款方式 | 合同签订后两周内一次性付清 | 合同签订后两周内一次性付清 | |||||
| 交付时间 | 签订合同后45天送货 | 签订合同后 45 天送货。 | |||||
| 交付地址 | 广东省广州市番禺区大学城华南师范大学理5栋二楼超净间 | ||||||
| 质保期及售后要求 | 无 | 无 | |||||
| 其他要求： | 质保期2年，在接到故障通知2小时内响应；对于设备故障，48小时内到达现场维修。 | 质保期2年，在接到故障通知2小时内响应；对于设备故障，48小时内到达现场维修。 | |||||
| 报价情况 | |||||||
| 标的名称 | 品牌/型号 | 数量 | 响应情况 | 单价（元/%） | |||
| 磁控溅射镀膜设备 | VJC-300 | 1.00 | VJC-300 | *****.000元 | |||
| 总报价 | *****.00 元 | ||||||
| 技术响应 | |||||||
| 标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | |||||
| 磁控溅射镀膜设备 | VJC-300 | VJC-300, 1)真空腔室：Φ300×H400mm； 2)★真空极限：优于5.0×10-5Pa； 3)★抽速：抽至10-4Pa≤20min； 4)基片台：最大可镀4英寸（Φ100mm）1片或者均布其它规格小片；基片台配挡板、旋转，加热； 5)磁控靶及电源：2只2inch圆形平面靶，2台电源，直流/射频各1台； 6)气路系统：两路气体（Ar/O2）MFC控制，量程范围为0～50SCCM\0～10SCCM，另预留一路接口； 7)控制方式：PLC手自动控制，触摸屏操作； | |||||
| 附件 |
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