高真空有机及金属蒸发镀膜机成交结果公告
高真空有机及金属蒸发镀膜机成交结果公告
项目名称 | 高真空有机及金属蒸发镀膜机 | 项目编号 | XF-WSBX-******* |
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公告开始日期 | 168*****40000 | 公告截止日期 | 168*****00000 |
采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后15个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后30个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 浙江大学紫金港校区和同苑9幢材1-D102 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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高真空有机及金属蒸发镀膜机 | 1 | 台 | 真空应用设备 |
品牌 | 北京泰科诺科技有限公司 |
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型号 | ZHDS400 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 1.有机/金属镀膜室:镀膜室净尺寸:L400mm×W440mm×H450mm;SUS304不锈钢制作,方箱式,配有前、后门,前门和后门水平滑开式,材质为锻铝,便于手套箱内操作;后门为常闭门,便于设备清理维护;特点:镀膜设备与手套箱复合一体式设计,可在脱离手套箱条件下单独调试、使用,与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封可靠; 2.真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统,“两低一高”数显复合真空计; 3.真空指标:极限真空:优于5.0×10-5Pa;(设备和手套箱分体,设备空载抽真空24小时)抽速:从大气抽至10-4Pa≤40min;设备升压率≤0.8Pa/h; 4.水冷式基片台:抽屉式结构,承载最大小于120×120mm 基片; 配有气动基片台挡板;基片台电机驱动,旋转速度0~20 转/分钟可调;蒸发源到样品可调节距离:70mm;蒸发源与基片距离约260-330mm;基片台间接水冷。 5.金属源:水冷铜电极3组;蒸发电源:功率 1500W,1台(可实现1拖2);进口日本TDK; 6.有机源:束源式控温有机蒸发源(最高温度600°),3 组;有机蒸发源特点:角度向心可调(提高材料利用率,均匀性好),蒸发速率可控;有机控温蒸发电源:3套(独立PID 智能温控蒸发);采用日本TDK 蒸发电源Z+20-10;配4组气动挡板及源间防污隔板; 7.膜厚控制系统:Inficon进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚,型号SQC-310,双探头; 8.控制方式:采用 PLC+液晶屏+工控机全自动控制; 9.报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 10.配备有循环水冷机及空气压缩机,各1台; |
售后服务 | 电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后48小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
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