磁控溅射自购结果公示
磁控溅射自购结果公示
| 供应商： | 北京微纳真空技术有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ****** |
| 公示开始日期 | 2023-06-26 | 公示截止日期 | 2023-06-27 17:46:59 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 微电子学院 | 付款方式 | 预付50%，验收合格后付50% |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 多靶磁控溅射镀膜设备 | 1 | 台 |
| 品牌 | 北京微纳真空技术有限公司 | 规格型号 | VJC-400 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1) 真空腔室：Φ400×H450mm； 2) ★真空极限：优于5.0×10-5Pa； 3) ★抽速：抽至10-4Pa≤15min； 4) 基片台：最大可镀4英寸（Φ100mm）1片或者均布其它规格小片；基片台配挡板、旋转，加热（预留水冷）； 5) 磁控靶及电源：3只3inch圆形平面靶，3台电源，直流1台/射频2台； 6) 辅助溅射：可选配负偏压电源（预留）； 7) 气路系统：三路气体（Ar/O2/N2）MFC控制，量程范围为0～50SCCM\0～20SCCM \0～20SCCM； 8) 控制方式：PLC手自动控制，触摸屏操作； 9) ★特别定制：掩膜板一块。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;质保期限:3年;响应期限:报修后2小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-06-26
标签: 磁控溅射
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