北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目评标结果公示公告1
北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目评标结果公示公告1
【中国国际招标网】
项目名称：北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab05/03
招标范围：超景深显微镜是一套半导体芯片过程检测设备，具体规格如下：1)超景深显微镜1台，用于半导体晶圆在前道干法刻蚀工艺过程中的三维微观结构检验，物镜放大倍率5×~50×；2)超景深显微镜1台，用于半导体晶圆在后道湿法腐蚀和金属化工艺过程中的三维微观结构检验，物镜放大倍率5×~50×；
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-07-20 09:30
公示开始时间：2023-07-24 16:28
评标公示截止时间：2023-07-27 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 锐科系统集成有限公司 | Evident | 日本 |
| 2 | 北京悦昌行科技有限公司 | LeicaMicrosystemsCMS GmbH | 新加坡 |
| 3 | 北京普瑞赛司仪器有限公司 | Carl Zeiss Microscopy GmbH | 德国 |
标签: 第五批科研设
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