北京市北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目中标结果公告1
北京市北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目中标结果公告1
项目名称：北京怀柔实验室2023年第五批科研设备采购项目
项目编号：1495-234thhrlab05/03
招标范围：超景深显微镜是一套半导体芯片过程检测设备，具体规格如下：1)超景深显微镜1台，用于半导体晶圆在前道干法刻蚀工艺过程中的三维微观结构检验，物镜放大倍率5×~50×；2)超景深显微镜1台，用于半导体晶圆在后道湿法腐蚀和金属化工艺过程中的三维微观结构检验，物镜放大倍率5×~50×；
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-07-20 09:30
公示时间：2023-07-24 16:28 - 2023-07-27 23:59
中标结果公告时间：2023-07-28 15:24
中标人：锐科系统集成有限公司
制造商：Evident
制造商国家或地区：日本
标签: 第五批科研设
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