北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目-包11评标结果公示公告1

北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目-包11评标结果公示公告1

项目名称:北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目-包11
招标项目编号:1495-234thhrlab11
招标范围:产品名称:LPCVD设备 数量:1台 简要技术规格:LPCVD设备是一种半导体芯片加工设备,数量1台,包含4根炉管,具体规格如下: 1)在硅片表面沉积多晶硅(poly),厚度500nm~1000nm; 2)在硅片表面沉积氧化硅(TEOS),厚度100nm~2000nm; 3)在硅片表面沉积氮化硅(Si3N4),厚度50nm~500nm; 4)在硅片表面沉积氧化硅(LTO),厚度50nm~1000nm;
招标机构:天恒招标有限公司
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-08-08 09:30
公示开始时间:2023-08-11 10:01
评标公示截止时间:2023-08-14 23:59
中标候选人名单:
候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国别及地区
1 创世杰科技(香港)有限公司 THERMCO SYSTEMS LTD. 英国

,北京市

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 第二批科研设

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