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燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购 - 评标结果公示公告

项目名称：燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购
招标项目编号：0610-2340IH010894
招标范围：1 中温氧化设备 6台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中中温氧化的工艺
2 氮化硅扩散设备 5台 用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中用于实现12吋半导体集成
电路硅片制造流程中NITRIDE的工艺的工艺 3 扩散合金设备 4台 用于实现12吋半导体集成电
路硅片制造流程中合金的工艺 4 金属刻蚀设备 4台 用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流
程中金属Al line或Al Pad刻蚀的工艺 5 硅刻蚀设备 3台 用于实现12 吋半导体集成电路硅片
制造流程中多晶硅栅极刻蚀浅槽隔离刻蚀侧壁保护刻蚀的工艺
招标机构：北京国际招标有限公司
招标人：北京燕东微电子科技有限公司
开标时间：2023-08-10 10:00
公示开始时间：2023-08-14 13:21
评标公示截止时间：2023-08-17 23:59
中标候选人名单：



招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人：签名


招标人或其招标代理机构：盖章
候
选
人
排
名
投标商名称 制造商 制造商国别及地区
1
北京北方华创微
电子装备有限公
司
北京北方华创微
电子装备有限公
司
中国

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com