项目名称：燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购
招标项目编号：0610-2340IH******
招标范围：1中温氧化设备6台用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“中温氧化”的工艺2氮化硅扩散设备5台用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“NITRIDE”的工艺”的工艺3扩散合金设备4台用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“合金”的工艺4金属刻蚀设备4台用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“金属Al line或Al Pad刻蚀”的工艺5硅刻蚀设备3台用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“多晶硅栅极刻蚀、浅槽隔离刻蚀、侧壁保护刻蚀”的工艺
招标机构：北京国际招标有限公司
招标人：北京燕东微电子科技有限公司
开标时间：2023-08-10 10:00
公示开始时间：2023-08-14 13:21
评标公示截止时间：2023-08-17 23:59
中标候选人名单：