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项目名称：燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购

招标项目编号：0610-2340IH******

招标范围：1中温氧化设备6台用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“中温氧化”的工艺2氮化硅扩散设备5台用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“NITRIDE”的工艺”的工艺3扩散合金设备4台用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“合金”的工艺4金属刻蚀设备4台用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“金属Al line或Al Pad刻蚀”的工艺5硅刻蚀设备3台用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“多晶硅栅极刻蚀、浅槽隔离刻蚀、侧壁保护刻蚀”的工艺

招标机构：北京国际招标有限公司

招标人：北京燕东微电子科技有限公司

开标时间：2023-08-10 10:00

公示开始时间：2023-08-14 13:21

评标公示截止时间：2023-08-17 23:59

中标候选人名单：