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项目名称：北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目-包11

招标项目编号：1495-234thhrlab11

招标范围：产品名称：LPCVD设备 数量：1台 简要技术规格：LPCVD设备是一种半导体芯片加工设备，数量1台，包含4根炉管，具体规格如下： 1）在硅片表面沉积多晶硅(poly),厚度500nm~1000nm； 2）在硅片表面沉积氧化硅（TEOS），厚度100nm~2000nm； 3）在硅片表面沉积氮化硅（Si3N4），厚度50nm~500nm； 4）在硅片表面沉积氧化硅（LTO），厚度50nm~1000nm；

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：2023-08-08 09:30

公示时间：2023-08-11 10:01 - 2023-08-14 23:59

中标结果公告时间：2023-08-15 11:30

中标人：创世杰科技（香港）有限公司

制造商：THERMCO SYSTEMS LTD.

制造商国家或地区：英国