项目名称：燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购
项目编号：0610-2340IH******
招标范围：1 中温氧化设备 6台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“中温氧化”的工艺 2 氮化硅扩散设备 5台 用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“NITRIDE”的工艺”的工艺 3 扩散合金设备 4台 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“合金”的工艺 4 金属刻蚀设备 4台 用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“金属Al line或Al Pad刻蚀”的工艺 5 硅刻蚀设备 3台 用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“多晶硅栅极刻蚀、浅槽隔离刻蚀、侧壁保护刻蚀”的工艺
招标机构：北京国际招标有限公司
招标人：北京燕东微电子科技有限公司
开标时间：2023-08-10 10:00
公示时间：2023-08-14 13:21 - 2023-08-17 23:59
中标结果公告时间：2023-08-18 09:16
中标人：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商国家或地区：中国