燕东科技12吋介质膜刻蚀设备采购中标结果公告1
燕东科技12吋介质膜刻蚀设备采购中标结果公告1
【中国国际招标网】
项目名称：燕东科技12吋介质膜刻蚀设备采购
招标项目编号：0610-2340IH******
招标范围：介质膜刻蚀设备 2台 为12英寸半导体集成电路硅片制造流程中“电容耦合等离子体干法刻蚀机，适用于300mm硅片的介质层刻蚀工艺设备”。 其中1台对应压点等刻蚀工艺。 其中1台对应孔等刻蚀工艺。
招标机构：北京国际招标有限公司
招标人：北京燕东微电子科技有限公司
开标时间：2023-08-11 10:00
公示时间：2023-08-14 13:19 - 2023-08-17 23:59
中标结果公告时间：2023-08-18 09:11
中标人：南昌中微半导体设备有限公司
制造商：南昌中微半导体设备有限公司
制造商国家或地区：中国
标签: 刻蚀设备
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