小型绿光激光刻蚀机自购结果公示
小型绿光激光刻蚀机自购结果公示
| 供应商： | 武汉元禄光电技术有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ****** |
| 公示开始日期 | 2023-08-31 | 公示截止日期 | 2023-09-01 10:17:59 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 物理学院 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 中心校区光电所106室 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 小型绿光激光刻蚀机 | 1 | 台 |
| 品牌 | 武汉元禄光电 | 规格型号 | YLET1010MGN |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 请说明仪器设备（软件）的主要功能。 基本功能： 1）选择性刻蚀太阳能器件的不同功能层来完成太阳能组件的制备。 2)最大基片能达到 100mm*000mm。 3)死区面积最小宽度200μm。 4)能有效的有选择性的在不同基底（包括刚性和柔性）去除 TCO，电子传输层/活性层/空穴传输层和金属。 5)能有效控制激光在操作过程中对已有材料的热影响、火山口、缺陷控制。 6）兼容基板厚度0.01-40mm（可定制）。 技术指标 1激光器 1）最大平均输出功率：≥5W 2）激光波长532nm 3）最大脉冲能量：≥50mJ 4）脉冲宽度：≤20ns 2三轴精密移动平台 1）XY轴最大有效加工幅面100mm*100mm 2）XY轴定位精度：≤±10μm 3）XY轴重复定位精度：≤±10μm 3振镜加工系统 1）振镜入射孔径：≥10mm 2）振镜扫描速度：≥4000mm/s 3）振镜重复精度：≤±5μm 4）配置旁轴视觉成像系统，CCD相机定位精度≤±3μm，可对样品进行精确定位 5）扫描幅面100*100mm 4其他配套 1）配置吹气+吸附装置+除尘装置 2）水冷机控温范围18℃~24℃，控温精度≤0.2℃ 3）风机气流量≥100m3/h | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:2年;响应期限:报修后8小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-08-31
标签: 刻蚀
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