大湾区大学物质科学学院脉冲激光沉积系统真空腔体的采购号成交结果公告
大湾区大学物质科学学院脉冲激光沉积系统真空腔体的采购号成交结果公告
| 项目名称 | 大湾区大学物质科学学院脉冲激光沉积系统真空腔体的采购 | 项目编号 | GBU-XJ-*****号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 169*****37000 | 公告截止日期 | 169*****00000 |
| 采购单位 | 大湾区大学 | 付款方式 | 1.甲方货物验收通过后，收到正式发票后30个工作日内通过银行转账向乙方支付100%合同款项； |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同生效之日起120个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 广东省东莞市松山湖国际创新创业社区A5栋20层 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 脉冲激光溅射镀膜机 | 2 | 台 | 无 |
| 品牌 | 安泰可 |
|---|---|
| 型号 | pld-300 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 真空室 全部采用SUS304不锈钢制成，尺寸大致为φ350mm。 真空室装有前后快开门，打开后可以对腔体内部进行维护，配有观察窗。观察窗配有挡板。 腔体的极限真空为5x10-5Pa。 设备泄漏率＜7*10-8pa.L/s 。 CF100激光视窗接口1套（视窗中心距离地面1350±100mm可调）。 转靶以及加热装置 激光加热器装置直径1寸，可加热到1000度，耐氧气30pa。 靶材与基片架的距离为50-100mm。 基片总挡板，气动控制，通过触摸屏操作。 转靶可承载1寸靶材4片，公转，自转，扫描，激光器可与转靶联动。 气体流量计1路（氧气100sccm），带有截止阀。 真空系统 久泰真空脂润滑分子泵，抽速：600。 机械泵抽速约：6L/S 复合真空计，测量范围大气---1x10-5Pa 高真空气动挡板阀：KF40接口 控制系统 设备采用触摸屏控制+PLC，设备的操作在触摸屏上完成。 触摸屏尺寸为10英寸，控制内容包括： 机械泵、分子泵、阀的启、停； 在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统； 基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。 蒸发源挡板的开关。 照明以及烘烤系统 设备烘烤系统采用热辐射烘烤，功率为500W，烘烤温度室温-80℃. 照明灯为碘钨灯，24V250W，上下各一个。 |
| 售后服务 | 总价包括了制造或采购、包装、税费、运输、安装、调试费用。质保期：安装调试后12个月。 |
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