微米级光刻机自购结果公示
微米级光刻机自购结果公示
| 供应商： | 苏州中特微电子科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ****** |
| 公示开始日期 | 2023-09-14 | 公示截止日期 | 2023-09-15 11:17:59 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 国家胶体材料工程技术研究中心 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 微米级光刻机 | 1 | 台 |
| 品牌 | 中特微 | 规格型号 | zts4s |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 产品关键技术指标： 1.基板尺寸：15*15-100*100mm 2.基板厚度：0.1-10mm 3.线条宽度：4um 4.线条精度：±0.2um 5.找平方式：非接触式 6.光源：365nm，LED光源 7.光强范围：5-40mw/cm2 8.光强均匀性：Φ102mm≥97%；100*100mm≥95% 光强稳定性：98% | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后2小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-09-14
标签: 光刻机
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