北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目-包1中标结果公告1
北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目-包1中标结果公告1
【中国国际招标网】
项目名称:北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目-包1
招标项目编号:1495-234thhrlab41
招标范围:四探针电阻测试仪是一种半导体检测设备,具体规格如下:(1)四探针电阻测试仪1台,用于晶圆掺杂工艺后方块电阻检测;(2)四探针电阻测试仪1台,用于晶圆金属工艺后方块电阻检测;(3)测量准确性:≤±1%;(4)方阻测量范围:1mΩ/sq ~ 0.8MΩ/sq;(5)适用于6、8英寸晶圆。
招标机构:天恒招标有限公司
招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2023-09-07 09:30
公示时间:2023-09-11 10:05 - 2023-09-14 23:59
中标结果公告时间:2023-09-15 11:03
中标人:翌颖科技(上海)有限公司
制造商:KLA-Tencor
制造商国家或地区:美国
标签: 第四批科研设
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