燕东科技12吋匀胶显影设备采购中标结果公告1

燕东科技12吋匀胶显影设备采购中标结果公告1

项目名称:燕东科技12吋匀胶显影设备采购
项目编号:0610-2340IH******
招标范围:1 抗反射层涂胶机 2台 该设备主要用于BARC匀胶工艺 2 KrF涂胶显影机 2台 该设备主要用于配合KrF光刻机完成匀胶和显影工艺 3 I-Line涂胶显影机 4台 该设备主要用于配合I-Line光刻机完成匀胶和显影工艺 4 刷片清洗机 1台 该设备主要用于硅片刷洗工艺
招标机构:北京国际招标有限公司
招标人:北京燕东微电子科技有限公司
开标时间:2023-09-08 10:00
公示时间:2023-09-11 16:52 - 2023-09-14 23:59
中标结果公告时间:2023-09-15 13:36
中标人:沈阳芯源微电子设备股份有限公司
制造商:沈阳芯源微电子设备股份有限公司
制造商国家或地区:中国
,沈阳

标签: 显影

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北京国际招标有限公司

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