燕东科技12吋匀胶显影设备采购中标结果公告1

燕东科技12吋匀胶显影设备采购中标结果公告1

【中国国际招标网】

项目名称:燕东科技12吋匀胶显影设备采购

招标项目编号:0610-2340IH******

招标范围:1抗反射层涂胶机2台该设备主要用于BARC匀胶工艺2KrF涂胶显影机2台该设备主要用于配合KrF光刻机完成匀胶和显影工艺3I-Line涂胶显影机 4台该设备主要用于配合I-Line光刻机完成匀胶和显影工艺4刷片清洗机1台该设备主要用于硅片刷洗工艺

招标机构:北京国际招标有限公司

招标人:北京燕东微电子科技有限公司

开标时间:2023-09-08 10:00

公示时间:2023-09-11 16:52 - 2023-09-14 23:59

中标结果公告时间:2023-09-15 13:31

中标人:沈阳芯源微电子设备股份有限公司

制造商:沈阳芯源微电子设备股份有限公司

制造商国家或地区:中国

,沈阳

标签: 显影

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