CS200A二路配气系统中标结果

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CS200A二路配气系统中标结果

竞价结果详细 (CB***************)----安徽大学
申购单类型竞价类申购主题CS200A二路配气系统（物理 于老师）
发布中标时间：2016-01-04 15:48经费科目其他(除上述项目指定之外的经费）使用币种人民币是否含税是
申购备注
中标供应商设备名称品牌厂商型号规格配置是否标配申购数量中标单价售后服务报价说明中标理由
合肥汇联电子有限公司CS200A二路配气系统（物理 于老师）北京七星华创电子股份有限公司质量流量计分公司CS200A。带5段自动配气功能。 1) 气体种类： 气体: Ar；量程：200SCCM；接口：卡套1/4”：0-5VDC 气体：H2；量程：200SCCM；接口：卡套1/4”：0-5VDC 以上两种气体通过N2加对应气体转换系数进行精准标定，以达到相应技术参数。采用4路混气模块，使用两路，预留两路。 2) 工作压差：0.05-0.35Mpa 3) 漏率：系统单点漏率为≤1×10-9SCCS He 采用氦质谱仪进行漏率检测 4) 流量控制精度： CS200A：1.0%S.P(35% F.S.), 0.35%F.S.(35%F.S.) 响应时间1sec 漏率：1.0×10-9 atmcc/sec He (1×10-10 Pam3/sec He) 。送货上门，负责安装调试。1．系统设计、安装、制造基本要求 设计规范应符合相关的行业和企业标准，生产制作工艺符合企业的生产制作工艺规范。设备最终装配、包装和交货符合乙方企业所提供企业标准和生产作业规范。 2．配气系统的构成 1) 气路系统 配气柜主要由Ar/H2两个气路组成（详见原理图）； 柜体内气体管路全部使用316L不锈钢BA管； 管路的设计尺寸根据实际流通能力及计算选择； 管路中气路元件连接采用卡套连接方式； 所有气体通过的器件管道均选用无油产品； 系统采用4路混气模块，使用两路，预留两路，混气浓度重复精度达到0.1‰F.S.混气稳定时间≤2S； 2) 电控系统 电控系统主要由触摸屏、集成控制板（包括：MFC控制模块、电磁阀控制模块集成一块电路）、系统定制软件组成； 触摸屏软件主界面显示内部气路原理图，可以实时读取当前流量、截止阀状态； 通过触摸屏可实现对配气柜中的流量控制器和截止阀的单独调节和控制功能； 触摸屏可实现自动分段进气功能，允许用户针对每台MFC进行5段 分段设定，每段设定包括对应MFC的流量值与持续时间，从而实现自动进气功能； 用户可导出一段时间内的数据记录，具体时间段由用户设定； 系统预留USB接口，允许远程升级主程序； 整套系统保证MFC自身精度，并可以进行自动环境温度修正MFC精度，从而在指标允许温度下保证MFC精度范围 是 1 2 按行业标准提供服务 正常 终止交易 是130,700.0按行业标准提供服务总价最低原则


联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

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