双工位抛光机自购结果公示
双工位抛光机自购结果公示
供应商: | 无锡芮暄研磨科技有限公司 |
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中标金额: | ****** |
公示开始日期 | 2023-10-12 | 公示截止日期 | 2023-10-13 14:13:35 |
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采购单位 | 新一代半导体材料研究院 | 付款方式 | 验收合格后付款 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
收货地址 | 山东大学新一代半导体材料研究院 |
采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
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双工位抛光机 | 1 | 台 |
品牌 | 芮暄 | 规格型号 | SSP-P380-2 |
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技术参数 | 该设备的磨盘尺寸直径不小于380mm,满足4英寸的晶圆抛光,具有共两个工位,抛光盘的速度5-75rpm,摇摆速度0-20spm。 | ||
售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后8小时; |
资产与实验室管理部
2023-10-12
标签: 抛光机
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