SIC衬底倒角检测仪自购结果公示
SIC衬底倒角检测仪自购结果公示
| 供应商： | 上海谦视智能科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ****** |
| 公示开始日期 | 2023-10-12 | 公示截止日期 | 2023-10-13 14:13:06 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 新一代半导体材料研究院 | 付款方式 | 货到验收合格后付全款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 新一代半导体材料研究院1楼 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| SIC衬底倒角检测仪 | 1 | 台 |
| 品牌 | 上海谦视 | 规格型号 | EdgePro200 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | ？定制全自动运动载物台 ？X轴： 行程 200mm，定位精度 +/-5um，直线度 10um ？转轴： 360度直驱转轴 ？支持4-8寸Wafer ？倒角面幅、圆弧半径、精度误差+/-5um ？角度误差+/-1° ？直径误差+/-10um ？崩边提取精度50um ？6寸采集2条直径+缺口测量+6点位倒角测量：2分钟/片 ？定制检测软件系统，包含数据库管理系统 ？倒角形貌尺寸自动测量 ？平边/notch尺寸自动测量 ？晶圆直径自动测量 ？尺寸>0.05mm崩边检测 ？Excel报表/PDF报告生成功能 ？MES对接数据上传 | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-10-12
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