紫外光刻机采购结果公告
紫外光刻机采购结果公告
成交供应商: | 南京杰谱智能科技有限公司 |
选择理由: | 满足项目要求,总价最低。 |
质疑投诉说明: | 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至招标与采购中心,逾期不予受理。 |
项目名称 | 紫外光刻机采购 | 项目编号 | TYLGJJCG2023-0149 |
项目编号 | TYLGJJCG2023-0149 | ||
公告发布日期 | 2023/10/20 16:46 | 报价截止时间 | 2023/10/23 16:46 |
报价截止时间 | 2023/10/23 16:46 | ||
采购单位 | 太原理工大学 | 付款条款 | 货到验收合格后,一次性支付全款。 |
付款条款 | 货到验收合格后,一次性支付全款。 | ||
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
是否需要踏勘 | 否 | ||
踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
踏勘联系电话 | |||
踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
踏勘联系时间 | |||
采购预算 | ¥199,500.00 | 成交金额 | ¥198,550.00 |
成交金额 | ¥198,550.00 | ||
送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起30日内 | ||
送货/施工/服务地址 | 山西省晋中市榆次区大学街209号太原理工大学明向校区 |
采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
紫外光刻机 | 否 | 套 | 1 | 免费上门安装调试培训,免费配套服务期2年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换,以及光刻机的安装和调试,都由供应商负责。 | ¥198,550.00 | |
品牌及型号 | 飞诚光电(FC-25S型) 魔技纳米科技(MN-UV-Smart(Standard)) | |||||
技术参数要求 | 1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm 3.★分辨力:0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围:X:15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸: 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸:4英寸,向下兼容,支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式:定时(倒计时方式) 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种10.功能 11.调平接触压力通过传感器保证重复 12.数字设定对准间隙和曝光间隙 13.掩模相对于样片运动行程: 14.X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o 15.★最大焦厚:400 μm(SU8胶,用户提供检测条件) 16.光源平行性:2.5 o 17.曝光能量密度:>35mW/cm2 18.单层曝光一键完成 19.采用球气浮自动找平 20.照明不均匀性:±2.5%( Φ100mm范围); 21.曝光光源:紫外LED; 22. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 |
成交供应商: | 南京杰谱智能科技有限公司 |
选择理由: | 满足项目要求,总价最低。 |
质疑投诉说明: | 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至招标与采购中心,逾期不予受理。 |
项目名称 | 紫外光刻机采购 | 项目编号 | TYLGJJCG2023-0149 |
项目编号 | TYLGJJCG2023-0149 | ||
公告发布日期 | 2023/10/20 16:46 | 报价截止时间 | 2023/10/23 16:46 |
报价截止时间 | 2023/10/23 16:46 | ||
采购单位 | 太原理工大学 | 付款条款 | 货到验收合格后,一次性支付全款。 |
付款条款 | 货到验收合格后,一次性支付全款。 | ||
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
是否需要踏勘 | 否 | ||
踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
踏勘联系电话 | |||
踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
踏勘联系时间 | |||
采购预算 | ¥199,500.00 | 成交金额 | ¥198,550.00 |
成交金额 | ¥198,550.00 | ||
送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起30日内 | ||
送货/施工/服务地址 | 山西省晋中市榆次区大学街209号太原理工大学明向校区 |
采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
紫外光刻机 | 否 | 套 | 1 | 免费上门安装调试培训,免费配套服务期2年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换,以及光刻机的安装和调试,都由供应商负责。 | ¥198,550.00 | |
品牌及型号 | 飞诚光电(FC-25S型) 魔技纳米科技(MN-UV-Smart(Standard)) | |||||
技术参数要求 | 1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm 3.★分辨力:0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围:X:15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸: 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸:4英寸,向下兼容,支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式:定时(倒计时方式) 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种10.功能 11.调平接触压力通过传感器保证重复 12.数字设定对准间隙和曝光间隙 13.掩模相对于样片运动行程: 14.X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o 15.★最大焦厚:400 μm(SU8胶,用户提供检测条件) 16.光源平行性:2.5 o 17.曝光能量密度:>35mW/cm2 18.单层曝光一键完成 19.采用球气浮自动找平 20.照明不均匀性:±2.5%( Φ100mm范围); 21.曝光光源:紫外LED; 22. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 |
标签: 紫外光刻机
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