紫外光刻机采购结果公告

紫外光刻机采购结果公告


中标信息

成交供应商: 南京杰谱智能科技有限公司
选择理由: 满足项目要求,总价最低。
质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至招标与采购中心,逾期不予受理。
项目名称 紫外光刻机采购 项目编号 TYLGJJCG2023-0149
项目编号 TYLGJJCG2023-0149
公告发布日期 2023/10/20 16:46 报价截止时间 2023/10/23 16:46
报价截止时间 2023/10/23 16:46
采购单位 太原理工大学 付款条款 货到验收合格后,一次性支付全款。
付款条款 货到验收合格后,一次性支付全款。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算 ¥199,500.00 成交金额 ¥198,550.00
成交金额 ¥198,550.00
送货/施工/服务期限 合同生效之日起30日内
送货/施工/服务地址 山西省晋中市榆次区大学街209号太原理工大学明向校区

采购清单
1
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务 分项报价
紫外光刻机 1 免费上门安装调试培训,免费配套服务期2年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换,以及光刻机的安装和调试,都由供应商负责。 ¥198,550.00
品牌及型号 飞诚光电(FC-25S型) 魔技纳米科技(MN-UV-Smart(Standard))
技术参数要求 1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm 3.★分辨力:0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围:X:15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸: 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸:4英寸,向下兼容,支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式:定时(倒计时方式) 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种10.功能 11.调平接触压力通过传感器保证重复 12.数字设定对准间隙和曝光间隙 13.掩模相对于样片运动行程: 14.X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o 15.★最大焦厚:400 μm(SU8胶,用户提供检测条件) 16.光源平行性:2.5 o 17.曝光能量密度:>35mW/cm2 18.单层曝光一键完成 19.采用球气浮自动找平 20.照明不均匀性:±2.5%( Φ100mm范围); 21.曝光光源:紫外LED; 22. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。


中标信息

成交供应商: 南京杰谱智能科技有限公司
选择理由: 满足项目要求,总价最低。
质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至招标与采购中心,逾期不予受理。
项目名称 紫外光刻机采购 项目编号 TYLGJJCG2023-0149
项目编号 TYLGJJCG2023-0149
公告发布日期 2023/10/20 16:46 报价截止时间 2023/10/23 16:46
报价截止时间 2023/10/23 16:46
采购单位 太原理工大学 付款条款 货到验收合格后,一次性支付全款。
付款条款 货到验收合格后,一次性支付全款。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算 ¥199,500.00 成交金额 ¥198,550.00
成交金额 ¥198,550.00
送货/施工/服务期限 合同生效之日起30日内
送货/施工/服务地址 山西省晋中市榆次区大学街209号太原理工大学明向校区

采购清单
1
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务 分项报价
紫外光刻机 1 免费上门安装调试培训,免费配套服务期2年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换,以及光刻机的安装和调试,都由供应商负责。 ¥198,550.00
品牌及型号 飞诚光电(FC-25S型) 魔技纳米科技(MN-UV-Smart(Standard))
技术参数要求 1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm 3.★分辨力:0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围:X:15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸: 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸:4英寸,向下兼容,支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式:定时(倒计时方式) 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种10.功能 11.调平接触压力通过传感器保证重复 12.数字设定对准间隙和曝光间隙 13.掩模相对于样片运动行程: 14.X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o 15.★最大焦厚:400 μm(SU8胶,用户提供检测条件) 16.光源平行性:2.5 o 17.曝光能量密度:>35mW/cm2 18.单层曝光一键完成 19.采用球气浮自动找平 20.照明不均匀性:±2.5%( Φ100mm范围); 21.曝光光源:紫外LED; 22. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 紫外光刻机

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