全自动薄膜沉积设备竞价项目

全自动薄膜沉积设备竞价项目

一、采购需求信息
项目号 HW**********
设备品目类别 真空获得设备 设备用途 科研
竞价开始时间 2023-11-13 09:05:35 竞价结束时间 2023-11-15 09:05:00
全自动薄膜沉积设备
商品名称 全自动薄膜沉积设备 品牌/厂家 沈阳麦科诺
型号 IBTRP450 数量 1
计量单位 成交单价 ******.00 元
成交供应商 沈阳麦科诺科技有限公司 保修年限 3年
技术指标

1、极限真空度:≤4.0x10-5Pa (经烘烤除气后);

2、系统从大气开始抽气,30分钟可达到6.6x10-4Pa;

3、真空腔体:直径≥15"腔,带有4"观察视窗,支持≥3套2"阴极;

4、单探头膜厚监测仪1套;

5、腔门保护,腔门的观察视窗需配套遮板,可双向移动,用于保护观察视窗,避免被镀膜后导致不能清洗观看腔体内的工艺状况;

6、冷阴极离子源,使用气体为氩气/氧气/氮气/氢气/烷类气体,工作气压1.3×10-2Pa-2.7Pa, 离子源具有清洗功能功能;

7、样品台:直径100mm不锈钢样品台,最高可加热到≥600摄氏度,加热单元的引线跟真空环境完全隔离,PID精确控温;

8、样品台旋转通过步进电机+磁流体控制,样品台挡板的控制采用旋转气缸+磁流体控制;

9、工艺气路:3路气体,响应配套3个质量流量控制器;

10、真空泵:≥700L/s抽速脂润滑分子泵+9L机械泵+电动插板兼节流阀,系统通过PLC控制实现工艺腔体的全自动压力调节,快速稳定;

11、系统采用PLC+触摸屏控制方式,设定配方工艺一键式全自动镀膜方式,真空抽气、取样、关机一键式操作方式;

12、铝型材欧标包裹一体式台架;

13、配套循环水冷却器和空气压缩机。

安装及售后要求

有专业安装培训工程师;原厂原装,售后服务标准与该产品出厂市场标准服务一致;原厂或供应商保修3年;原厂售后、技术支持,24小时响应。

附件

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 薄膜沉积

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