一、合同编号： *******

二、合同名称： 多腔室新型高k金属栅ALD生长系统

三、项目编号： OITC-G*********

四、项目名称： 中国科学院微电子研究所多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）： 中国科学院微电子研究所

地 址： 北京朝阳区北土城西路3号

联系方式：********

供应商（乙方）：江苏微导纳米科技股份有限公司

地 址：江苏省无锡市新吴区长江南路27号

联系方式：江苏省无锡市新吴区长江南路27号

六、合同主要信息

主要标的名称：多腔室新型高k金属栅ALD生长系统

规格型号（或服务要求）： iTomic Lite型原子层沉积系统

主要标的数量：1

主要标的单价：*******

合同金额： 849.******万元

履约期限、地点等简要信息：北京 6个月

采购方式： 公开招标

七、合同签订日期： 2023-11-16

八、合同公告日期： 2023-11-16

九、其他补充事宜：

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