超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告

招 标 正 文
 

超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告

中标信息

成交供应商： 北京泰科诺科技有限公司
选择理由： 总价最低，推荐成交
质疑投诉说明： 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至国有资产管理处，逾期不予受理。
项目名称 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 项目编号 ZBDXJC-********
公告发布日期 2023/11/28 17:02 报价截止时间 2023/12/01 17:02
采购单位 中北大学 付款条款 货物交付到现场，安装、调试验收合格，经验收审计完成后，学校一次性支付100%的合同款项。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否需要踏勘 否
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
采购预算 ￥295,600.00 成交金额 ￥267,000.00
送货/施工/服务期限 合同生效之日起合同生效之日起，60个工作日内完成送货日内
送货/施工/服务地址 山西省太原市尖草坪区学院路3号
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价
超宽禁带半导体薄膜沉积系统 否 套 1 交货后提供至少一周现场设备使用及维护培训服务，五年内无条件免费上门维修设备且保障在24小时内及时回应，五年内免费线上进行相关技术回复； ￥267,000.00
参考品牌及型号 不限定品牌型号
技术参数要求 设备主要技术参数 ★1真空腔室不小于φ350×H350mm，SUS304优质不锈钢真空腔室，上开门结构，顶板焊水线； ★2、真空系统复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计； ★3真空极限6.0×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时） ★4、升压率设备升压率：≤0.8Pa/h（12小时平均值）； 设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa； 5、抽速从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min（设备空载）； 设备配置 1、复合分子泵 抽速不小于600 L/s 2、机械泵 抽速不小于6L/s ★3、插板阀 DN150高真空电动插板阀 4、前级/预抽阀：DN40气动挡板阀2个； 5、放气阀：Φ6mm，电磁截止阀； 6、进气阀Φ6mm，电磁截止阀； 7、数显复合真空计：两低一高，含规管； ★8、真空室不小于Ф350×H350mm，采用SUS304优质不锈钢.； 采用立式、圆柱体、气缸助力上翻盖结； ★9、磁控溅射室磁控靶，直径2英寸永磁靶不少于3个； 10、配独立挡板，防止交叉污染； ★11、基片台尺寸Φ120mm，最大样品尺寸小于Φ120mm 驱动电机：转速0～20转/分钟，连续可调 ★12、基片台加热温度500℃，采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等； 13、基片台气动挡板； 14、观察窗 Φ80 15、RF射频电源 500W 自动匹配不少于1台； ★16、直流电源 1000W；数字式直流电源数显可调控不少于1台； 17、脉冲偏压电源：-1kV；不少于1台； 18、总控电源 380V. 19、控制面板电源 220V 20、转动控制电源 步进电机、转动等控制 21、电源机柜 10英寸触摸屏+PLC，完善的逻辑程序互锁保护系统 22、气路系统 ★23、质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，20sccm；O2，20sccm;不少于3路； 24、设备尺寸：长×宽×高为1600×800×1920mm(长宽高)，简洁美观，上面板为不锈钢罩板. 25、冷水机 2P 26、空压机 TYW-Ⅱ型 27、主要氟橡胶圈 28、主要无氧铜圈 29、不锈钢螺钉、螺母 30、水报警装置
,山西,太原市,尖草坪区,太原

标签: 薄膜沉积系统 半导体

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