RTP快速退火炉中标结果
RTP快速退火炉中标结果
| 成交供应商： | 技鼎股份有限公司 |
|---|---|
| 成交金额： | CNY 598,800 |
| 项目名称 | RTP快速退火炉 | 项目编号 | 招设2023C***** |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2023-12-13 11:56:54 | 公示截止日期 | 公示一天 |
| 采购单位 | 上海交通大学 | 付款方式 | 100%L/C，90%即期，10%验收合格后支付 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 预算总价 | ￥ 599,600 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 项目概述 | 快速热处理技术（RTP）可用于硅及化合物半导体材料离子注入后的缺陷消除/激活杂质，硅化物形成，欧姆/肖特基接触的制备以及快速氧化/氮化，消除薄膜应力，提高薄膜附着性，高迁移率氧化物结晶等方面，是芯片制造中必不可少的一项技术。快速热退火设备具备以下特点： （1）同时满足快速升降温和慢速升降温的工艺需求：为达到不同的工艺目的，设备通过双层钨丝卤素石英灯加热，可通过自主设定升降温时间来实现快速（＜20℃/s）与慢速升降温工艺，； （2）长时间工作稳定性：10区灯管温控以提供较好的温度均匀性于稳定性，每支灯管皆具有加热电流侦测功能以监控制程状态，可供设备在高温环境下长时间工作并保持良好的恒温效果； （3）高便捷操作：温度变化可视化，时时闭回路温度控制，同时具备制程稳定性自动侦测警示技能，Windows based 图控接配合触控面板及机台信息与操控于一身，每一次的制程信息均会以该Lot-ID及时间自动存盘以供使用者随时调取工艺信息 | ||
上海交通大学
2023-12-13 11:56:54
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