复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机0.5um等仪器设备采购项目中标公告
复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机0.5um等仪器设备采购项目中标公告
（编号：QWQTJY2331）复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机（0.5um）等仪器设备采购项目中标公告
发布日期：2023年12月15日
一、项目编号：QWQTJY2331（NBITC-*********G）
二、项目名称：复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机（0.5um）等仪器设备采购项目
三、中标（成交）信息
1.中标结果：
序号 | 中标（成交）金额(元) | 中标供应商名称 | 中标供应商地址 |
1 | 投标报价：********（元） | 上海卓园微电子工程技术有限公司 | 上海真南路4268号B区2422号 |
4 | 投标报价：*******（元） | 英铂科学仪器（上海）有限公司 | 上海市松江区广富林东路199号13幢2层201室 |
5 | 投标报价：********（元） | 英铂科学仪器（上海）有限公司 | 上海市松江区广富林东路199号13幢2层201室 |
6 | 投标报价：*******（元） | 山东聚智半导体科技有限公司 | 山东省潍坊市青州市开发区荣利街1789号 |
2.废标结果:
序号 | 标项名称 | 废标理由 | 其他事项 |
2 | 介质膜（氧化硅、氮化硅）刻蚀等仪器设备 | 有效供应商不足三家 | / |
3 | 金相显微镜 | 有效供应商不足三家 | / |
四、主要标的信息
货物类主要标的信息：
序号 | 标项名称 | 标的名称 | 品牌 | 数量 | 单价(元) | 规格型号 |
1 | 步进光刻机（0.5um）等仪器设备 | 步进光刻机（0.5um） | ASML | 2台 | Asml Pas 5000/50 I-Line Stepper | |
2 | 步进光刻机（0.5um）等仪器设备 | 栅氧前清洗机 | FSI Mercury | 1台 | FSI Mercury OC Wet Cleaning | |
3 | 步进光刻机（0.5um）等仪器设备 | LPCVD立式炉 | Kokusai | 1台 | Kokusai Vertron III DJ803/813V LPCVD | |
4 | 方块电阻测试仪 | 方块电阻测试仪 | Omnimap(KLA) | 1台 | RS55 | |
5 | 线宽测试仪 | 线宽测试仪 | Hitachi | 1台 | S-9300 | |
6 | 快速热退火炉-手动 | 快速热退火炉-手动 | Premtek | 1台 | RTP-381SA |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
叶培良，罗锋，王鸿博（采购人代表），王旭，连锦杰（采购人代表），施立钦，李贤义
六、代理服务收费标准及金额：
1.代理服务收费标准：详见招标文件。
2.代理服务收费金额（元）：******
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其他补充事宜
具体服务要求详见招标文件。
九、对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称：复旦大学宁波研究院
地址：宁波市前湾新区滨海二路901号金融广场C1栋
传真：/
项目联系人（询问）：高老师
项目联系方式（询问）：0574-********
质疑联系人：陈老师
质疑联系方式：0574-********
2.采购代理机构信息
名称：宁波市国际招标有限公司
地址：宁波市江北区环城北路西段207弄19号世茂茂悦商业中心1号楼七、八楼
传真：/
项目联系人（询问）：陈洁、邓牟雪
项目联系方式（询问）：0574-********
质疑联系人：姜春辉
质疑联系方式：0574-********
3.同级政府采购监督管理部门
名称：宁波前湾新区经济和信息化局
地址：宁波前湾新区兴慈一路1号
传真：/
联系人：杨老师
监督投诉电话：0574-********
附件信息：
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