紫外光刻机自购结果公示
紫外光刻机自购结果公示
| 供应商： | 三河建华高科有限责任公司 |
|---|---|
| 中标金额： | ****** |
| 公示开始日期 | 2023-12-16 | 公示截止日期 | 2023-12-17 20:31:06 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 集成电路学院 | 付款方式 | 100%预付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东省济南市高新区舜华路1500号山东大学软件园校区教研楼3B-B104 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 紫外光刻机 | 2 | 台 |
| 品牌 | 三河建华 | 规格型号 | BG-401B |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 简要技术要求： 1．曝光类型：单面；2．曝光面积：100×100mm；3．曝光照度不均匀性：≤3%；4．曝光强度：≥20mw/cm2，可调；6．紫外光中心波长：365nm；7．紫外光源寿命：≥2万小时；8．曝光分辨率：1μm；9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；10．显微镜扫描范围：X：±50mm Y：±50mm； 11．对准范围：X、Y±5mm；θ±12°；12．套刻精度：1μm；13．显微系统：三目头显微镜，双视场CCD系统，目镜10X，物镜10X，物镜分离距离：28～90mm；扫描范围：50×50mm；调焦范围：8mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器；14．基片厚度：≤5 mm；15．曝光定时：0～999.9秒可调；16．配套掩模版架：3英寸、5英寸；17．配套承片台：2英寸、3英寸各一个；18.配套真空泵一台19.配套光强计一台 交货期：合同签订后60日内. | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2023-12-16
标签: 紫外光刻机
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