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清华大学常压等离子体化学气相沉积系统研制项目
单一来源采购公示
一、采购人：清华大学
二、地址：北京市海淀区清华园
三、联系方式：王琦 sbcwq@tsinghua.edu.cn
四、项目名称：常压等离子体化学气相沉积系统的研制项目
项目编号：清设招第 20230363 号
五、采购内容：常压等离子体化学气相沉积系统的研制
六、采用单一来源采购方式原因及说明
传统的单一合成单壁碳纳米管的技术很难实现宏量制取，等离子体可以提升单
壁碳纳米管的生长效率，有望实现单壁碳纳米管的宏量制取。市面上尚未有可宏量
制取单壁碳纳米管的等离子体增强化学气相沉积装置。该设备只能通过研制、试制
的方式进行设计与加工。
经市场调研，目前可生产等离子体增强化学气相沉积装置的厂家只有六安中科
鑫烯净化科技有限公司，其主要研发团队具有常压和微正压等离子体发射研发核心
技术和 PECVD 制取石墨烯的技术，故采用单一来源的方式进行。
七．主要技术参数及配置要求：
反应室尺寸优于 100*100*400mm；等离子体放电功率大于 3kW，加热功率不低于
4kW，工作电压 220V，加热温度不低于 950 ℃；含两路及以上进气通道；可将液体
碳源雾化后，引入反应室。
八、供应商：六安中科鑫烯净化科技有限公司
地址：安徽省六安市金安区三十铺镇六安大学科技园 A7 栋
九、征求意见期限从 2023 年 12 月 22 日至 2023 年 12 月 27 日止。
十、潜在供应商对公示内容有异议的，请于公示期满后 1 个工作日内将书面意见(包
括：供应商名称、联系人、联系电话、能够提供本政府采购项目的说明)反馈至清华
大学(联系人：王琦 62771946，邮箱：sbcwq@tsinghua.edu.cn)。

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com