科技创新研究院硅片采购项目二次竞价成交公告
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序号 | 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
1 | 硅片 | RVM | 100/片 | 1930 | 1.Number of required wafers: 100 2.Substrate: RVM Supplied Wafers 3.Diameter: 4\" - 100mm 4.Material: Silicon 5.Type/Dopant: P/Boron 6.Orientation: (100) 7.Resistivity: 1-20 ohm-cm 8.Thickness: 300 +/-25um 9.Double Side Polished 10.Perform the Following Film Stack on both side of wafer 1) Std. Pre Process Clean 2) Grow Wet Thermal Oxide -Film Thickness: 2,000A +/- 5% -Side Processed: Both side 3) Deposit Low Stress LPCVD Nitride -Film Stress: <250 MPa Tensile -Ref Index: 2.20 +/- .05 @ 632.8nm -Film Thickness: 2um +/- 5% -Side Processed: Both side(参数中文翻译如下: 所需晶圆数量:100片 衬底: RVM工厂供应的晶片 直径:4寸晶圆(直径100mm) 材料:硅 半导体类型/掺杂元素: P型硅/Boron 晶向:(100) 电阻率:1-20欧姆-厘米 厚度:300 +/-25um 双面抛光 在晶圆的正反面叠加制备以下薄膜: 1) 前道标准双面清洁工艺 2) 湿热氧化法制备双面SiO2薄膜 -薄膜厚度:2000A+/-5% 3) LPCVD工艺制备双面SiNx薄膜, -薄膜应力: <250 MPa -折射率: 2.20 +/- .05 @ 632.8nm -薄膜厚度:2um +/- 5% |
标签: 硅片
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