无掩模光刻机成交结果公告
无掩模光刻机成交结果公告
项目名称 | 无掩模光刻机 | 项目编号 | XF-WSBX-******* |
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公告开始日期 | 170*****74000 | 公告截止日期 | 170*****00000 |
采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后30个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后3个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 浙江大学紫金港校区开物苑1号楼D02 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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无掩模光刻机 | 1 | 台 | 光电设备 |
品牌 | Microlight3D |
---|---|
型号 | SP-UV.Standard |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 曝光波长:385nm准直波长:590nm包含2个物镜(2.5X/10X),配备磁性“快速释放”系统;2.5X镜头:写入区域4.2mm×4.2mm FOV;线宽6μm;10X镜头:写入区域1.06mm×0.59mm FOV;线宽1.5μm;最大曝光区域70 mm×70 mm; 写入速度77 mm2/min;拼接精度2μm;套刻精度2μm;线宽低至1.5μm(10X物镜);手动旋转台角度范围360° ,精度0.1°;兼容SU-8、AZ系列、i线、g线、h线和宽带光刻胶等;最大可兼容4 inch基底。 |
售后服务 | 电话支持:7x24小时;服务时限:报修后8小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
标签: 光刻机
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